前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 要求 1
4.1 一般要求 1
4.2 磷化氢气体净化设备的一般要求 2
4.3 管道设置的一般要求 2
4.4 磷化氢气体浓度检测仪器 2
4.5 应急准备与应急响应 2
5 检测与判定 2
5.1 泄漏性检测 2
5.2 磷化氢气体净化设备检测取样口磷化氢浓度的检测 3
5.3 磷化氢实验室检测方法 3
6 归零延迟时间的计算 3
附录A (资料性附录) 磷化氢气体净化设备安装调试泄漏性检测记录表 4
附录B(资料性附录) 磷化氢气体净化设备正式运行泄漏性检测记录表 5
附录C (资料性附录) 磷化氢气体净化设备检测取样口处的磷化氢气体浓度检测记录表 6